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首页 ※ 合肥科晶加热及样品处理设备 ※ 其他配套设备 ※ 带有预热系统的滑动PECVD OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL
带有预热系统的滑动PECVD OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

带有预热系统的滑动PECVD OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

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设备名称

带有预热系统的滑动PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶实验室审核）

产品提示

1、多种配件可选提示  2、特殊设备尺寸设备  3、科晶实验室邀请提示  4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏；

▪ 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；

▪ 炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃；

▪ 带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。

加热炉参数

▪ 连续工作最高温度为1100℃

▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；两个温区最大温差为：400℃

▪ 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）

▪ 工作电源：208-240V AC单相，最大功率：4KW


加热炉图1.jpg    温控仪表.JPG


更多参数请联系科晶销售部

预热炉参数

▪ 最高温度：1100℃；

▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

▪ 气体通过等离子射频电源前，先通过预热炉，也可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合


预热炉图1.jpg

电动滑轨

▪ 可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果

▪ 滑动速度：0-70 mm/s（可调）

升降温速率

▪ RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买）

▪ 为获得最大的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品放置区


加热速率

冷却速率

15°C/sec (RT - 150°C)

15°C/sec (1000 - 950°C)

10°C/sec (150°C - 250°C)

10°C/sec (950°C - 900°C)

7°C/sec (250°C - 350°C)

7°C/sec (900°C - 850°C)

4°C/sec (350°C - 500°C)

4°C/sec (850°C - 750°C)

3°C/sec (350°C - 550°C)

2°C/sec (750°C - 600°C)

2°C/sec (550°C - 650°C)

1.5°C/sec (600°C - 500°C)

1°C/sec (650°C - 800°C)

1°C/sec (500°C - 400°C)

0.5°C/sec (800°C - 1000°C)

0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。


 

300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

（稳定性：±1%）

0-500W可调

（稳定性：±1%）

0-100W可调

（稳定性：±1%）

射频频率

13.56 MHz

（稳定性：±0.5%）

13.56 MHz

（稳定性：±0.5%）

13.56 MHz

（稳定性：±0.5%）

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

300W射频电源.jpg

500W射频电源.jpg

100W射频电源.png



真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10-2Torr。


真空系统.png

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


四通道质子图1.jpg  四路质子图2.png

产品尺寸和重量

▪ 炉体尺寸：550mm L ´380mm W´520mm H

▪ 滑轨长度：1750 mm

▪ 净重：220 Lbs

认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证


认证.png

承诺

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）

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