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设备名称
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滑动式双温区PECVD系统——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—科晶实验室审核）
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产品提示
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1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示
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产品特点
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▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
▪ 滑轨式可快速加热和快速冷却；
▪ 两个加热区，温度梯度最大可达 200ºC；
▪ 可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。
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加热炉参数
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▪ 最高温度：1200ºC（<30min），连续工作温度：1100℃；
▪ 两个PID温度控制器及30段可编程温控系统；
▪ 输入功率：208-240V，单相，最大功率：2.5KW；
▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗；
▪ 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
 
多参数请联系科晶销售部
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射频电源
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▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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300W射频电源
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500W射频电源
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100W射频电源
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输出功率
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0-300W可调
（稳定性：±1%）
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0-500W可调
（稳定性：±1%）
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0-100W可调
（稳定性：±1%）
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射频频率
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13.56 MHz
（稳定性：±0.5%）
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13.56 MHz
（稳定性：±0.5%）
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13.56 MHz
（稳定性：±0.5%）
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匹配
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自动匹配
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自动匹配
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手动匹配
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噪音
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＜50dB
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＜50dB
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＜50dB
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冷却方式
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风冷
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风冷
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风冷
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输入电压
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AC180-250V
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AC108-250V
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AC110-240V
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图片
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真空系统
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▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；
▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
▪ 真空度可达10-2Torr。
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供气系统
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▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；
▪ 流量范围:
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一路
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0-100 sccm
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二路
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0-200 sccm
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三路
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0-200 sccm
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四路
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0-500 sccm
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▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；
▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
 
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产品尺寸和重量
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▪ 设备总体尺寸：2200mm L´800mm W´1500mm H
▪ 净重：110kg
▪ 运输重量：230kg
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认证
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▪ CE认证
▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证
▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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国家专利
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▪ 专利名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置
▪ 专利编号：ZL-2011-2-0355777.1
▪ 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究
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承诺
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▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）
▪ 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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