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视频
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操作视频
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主要参数
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输入电源：220V 通用 功率：< 1KW
工作电流： 溅射电流：0-50 mA可调
单次工作时间：0-5分钟可调
靶头数目：3个
输出电压：1600V DC
样品台加热温度：500℃（选配，详细请联系售后）
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溅射腔体
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采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封：O形密封圈密封
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样品台
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一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片，可以电动控制移动三个位置
溅射距离：溅射距离可调
可选购加热型样品台（最高温度可到500℃）
PID控制器控温精度+/- 1℃（已集成到触摸屏上）
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控制面板
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控制面板为PLC，4.3" 触摸屏
一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度
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真空泵（选配）
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用机械泵真空度达 50 mtorr（仅供参考，详情请点击）
用分子泵真空度可达 10-4 torr（仅供参考，详情请点击）
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进气口
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一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量
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靶材
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要求安装靶材的尺寸：直径Φ47mm,厚度0.5-3mm
可在本公司选购靶材,具体请点击链接
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外形尺寸
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460mm×330mm×540mm (L×W×H)
净重:50KG（不包括泵）
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质保期
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一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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质量认证
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 认证
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各种靶材的参数（仅供参考）
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对于溅射各种金属靶材，需要摸索最理想的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数（仅供参考，详情请点击）
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靶材种类
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真空度（Pa）
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溅射电流（mA）
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时间（s）
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溅射次数
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Au
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31-33
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28-30
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100
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1
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Ag
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31
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28
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100
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1
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使用注意事项
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由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节
有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜
为了得到较好的薄膜质量，必须通入高纯气体（建议> 5N）
在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面
超声波清洗（详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分。
等离子清洗（详细参数点击下面图片):可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物
制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力
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超声波清洗机
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等离子清洗机
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大功率磁控溅射仪
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蒸镀仪
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手套箱
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警告
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注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体
气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕 以下，以安全使用
溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶
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