加热型紫外臭氧清洗机-PCE-22 （2019.11.4-科晶实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备    3、科晶实验室邀请提示    4、配件妥善保管提示

·仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;

·温度范围：5-40℃;

·最大相对湿度80％，最高30.5℃，40℃线性降至50％相对湿度;

·主电源波动不超过额定电压的10％;

·污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。

·去除分子级别的污染物

·紫外光固化粘合剂

·紫外光催化

·氧化PDMS

·表面消毒

·刻蚀

·清洗MEMS 器件

·清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

·功率：最大350W

·AC 208~240V，单相 50/60Hz

更多参数请联系科晶销售部

腔体&样品台：·不锈钢壳体

·抽屉式样品台，以便放样取样，如图一。

·样品台面积310 mm x 320 mm

·臭氧通风装置安装在腔体上

·样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调），如图二。

·样品台可以加热，最高温度可达150℃，如图三。

·可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃

·设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时，如图四。

           图一                        图二                       图三                          图四

排气口：·直径为80mm的排气口安装在仪器后端

·请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

·仪器中不包含橡胶管

紫外灯：·可发出双波长的水银灯

·功率：55W

·发出光的波长：254 nm 和 185 nm

·使用寿命：2500 小时（可更换）

·照射区域：200 x 200 mm

·可以清洁直径最大为12英寸x 35毫米的晶体晶片。

·510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

28kg

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。