6英寸小型等离子清洗机-PCE-6 （2019.11.1-科晶实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备    3、科晶实验室邀请提示    4、配件妥善保管提示

拥有6英寸清洗腔室，可清洗约5英寸直径的基片。

·通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、清洗时间如图一。

真空泵的开闭如图二。

·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。

·设有一个三通阀，可大体控制进气流量。

输入功率：AC 220V，50/60 Hz，  

射频功率：最大30 W

真空泵：<500W

总功率：<600W

射频功率：射频功率（施加在线圈上的高压和高频电流）可以在三个级别上调节：低设置7.2W；中设置10.2W; 高设定30W

射频频率：13,56 MHz

更多参数请联系科晶销售部

·高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗

·带观察窗的铰链式门，便于样品加载和观察

控制面板：控制功能：清洁时间，射频功率，真空泵。

·通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定）

·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

·400mm×300mm×300mm

10.2kg

CE认证

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。