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首页 ※ 合肥科晶加热及样品处理设备 ※ 其他配套设备 ※ 1200°C二通道混气高真空CVD系统OTF-1200X-HVC
1200°C二通道混气高真空CVD系统OTF-1200X-HVC

1200°C二通道混气高真空CVD系统OTF-1200X-HVC

￥ 0.00
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设备名称

• 1200°C二通道混气高真空CVD系统-OTF-1200X--HVC （2019.12.9—科晶实验室审核）

产品提示

科晶实验室邀请提示    图片未及时更新提示    多种配件可选提示    危险设备操作提示

主要特点

• 高熔点物质能够在低温下合成

• 可生长单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种物质

• 不仅可以在基片上进行生长，还可以在粉体表面生长

基本参数

一、加热炉：

  • 温度：1100℃（1200℃＜1h）

  • 总加热度: 440mm   

  • 升温速率：≤10℃/min 

  • 恒温精度：±1℃   

  • 热偶：K型热偶 

  • 电源：AC208-240 50/60Hz

  • 功率：最大2.5KW



二、供气系统：

产品

二通道

三通道

四通道

五通道

 工作温度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

最大压力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重复精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范围

一路：1~199 SCCM

二路：1~199 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

注意

其他流量范围的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需额外费用

五-九路可按照客户要求定制


三、103G高真空机组：


   产品

国产分子泵

爱德华分子泵

抽气速率

·N2   33 L/s

·He   39 L/s

·H2   32 L/s

·N2     42 L/s

·He     49 L/s

·H2     45 L/s

系统极限

真空度

<1E-4 Pa

(配和本公司管式炉使用可达到1E-2Pa)

<1E-6 Pa

(配和本公司管式炉使用可达到1E-4Pa)

分子泵组成

RVP-4机械泵和F-100/110分子泵

隔膜泵和斡旋分子泵

使用电压

和功率

电压：200~240V

输出功率：150W

电压：185-265V

输出功率：100W

移动壳体

尺寸:

600(L)x600(W)x750(H)mm

600(L)x600(W)x750(H)mm



更多参数请联系科晶销售部

加热元件和温控系统

• 掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

• 包含一款YD518P型温度控制器

• PID自动控温系统

• 智能化30段可编程控制

• 默认DB9 PC通信连接端口

• 通过MET认证

• 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

 OTF-1200X--HVC 1.jpg OTF-1200X--HVC 2.jpg OTF-1200X--HVC 3.jpg

炉体结构和炉管尺寸

• 采用双层壳体结构，并带有风冷系统

• 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

• 高纯石英管

• 尺寸：外径: 50 ×长: 1000 mm   外径: 60 ×长: 1000 mm  

 外径: 80 ×长: 1000 mm   外径: 100 ×长: 1000 mm

尺寸

• 加热炉外形尺寸：1000 L x 300 W x 550 H mm


• 供气系统外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm


• 高真空机组外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

重量

• 加热炉约40Kg

• 供气系统约36Kg

• 真空机组约60Kg

认证

• 所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

 OTF-1200X--HVC 4.jpg

质保

• 一年质保期，终生维护

• 特别提示：

   1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

   2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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