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设备名称
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小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶实验室审核）
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产品提示
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1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示
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产品特点
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▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
▪ 整套设备尺寸小巧；
▪ 可通过工艺调节来控制化学计量；
▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。
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加热炉参数
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▪ 最高温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃；
▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；
▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW；
▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。
 
更多参数请联系科晶销售部
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射频电源
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▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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300W射频电源
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500W射频电源
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100W射频电源
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输出功率
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0-300W可调
（稳定性：±1%）
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0-500W可调
（稳定性：±1%）
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0-100W可调
（稳定性：±1%）
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射频频率
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13.56 MHz
（稳定性：±0.5%）
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13.56 MHz
（稳定性：±0.5%）
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13.56 MHz
（稳定性：±0.5%）
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匹配
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自动匹配
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自动匹配
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手动匹配
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噪音
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＜50dB
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＜50dB
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＜50dB
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冷却方式
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风冷
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风冷
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风冷
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输入电压
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AC180-250V
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AC108-250V
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AC110-240V
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图片
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真空系统
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▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；
▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；
▪ 真空度可达10-2Torr。
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供气系统
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▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；
▪ 流量范围:
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一路
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0-100 sccm
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二路
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0-200 sccm
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三路
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0-200 sccm
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四路
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0-500 sccm
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▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；
▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；
▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；
▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
 
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产品尺寸和重量
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▪ 尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H
▪ 净重：75 kg
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认证
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▪ CE认证
▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证
▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证
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承诺
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▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）
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