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设备名称
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4路质子混气管式PECVD系统—OTF-1200X-50-4CLV-PE
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相关视频
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操作视频
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外形尺寸
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长*宽*高 2080mm*700mm*1520mm
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炉管规格
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外径: 100mm
内径: 96mm×长: 1800 mm
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加热炉主要参数
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·最高温度: 1200℃
·额定工作温度: 1100℃
·推荐升温速率:≤10℃/min
·加热区长度: L总：440mm（双温区包括隔环）
温区一：200mm
温区二：200mm
·加热炉额定功率：3KW
·滑动方式：电动控制
·滑动最大行程：600mm
·电压：单相AC 208 - 240V, 50HZ
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温控系统
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欧陆EPC3000仪表
·模糊PID控制和自整定调节功能
·智能化24段可编程控制
·带过电流过电压保护 漏电保护
电气元件及电缆，冷压端子均符合UL认证标准
·控温精度: ±0.1℃
·控温：K型热电偶两根
·通讯协议：modbus RTU
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软件控制
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· 可视化运行状态监控
· 温控系统，气路系统，真空系统，射频系统，滑动炉体，开合炉体，压力控制，全自动化，
· 数据记录、过程记录集成一体
· 预制工作流程，一键自动运行
· 具有恒压功能，可以设定气体流量和恒定压力
压力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的双旋真空泵，在总进气量为100-150sccm，管内压力为 100-130pa，如总进气量高于150sccm时，请更换抽速更高的泵，测试为总进气量为1L/min（满足四路质量流量计全开状态时），使用VRD-60泵（抽速18L/s），最高真空为120-130pa（满足起辉条件）,可在任意供气量下设定任意气压值（该气压值需大于搭配泵体的最大真空值），气压值可自动稳定
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新式快捷法兰
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可方便快速取放物料
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射频电源
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·500W射频电源
·0--500W可调（稳定性±1%）
·射频频率：13.56MHZ
·自动匹配 风冷
·噪音＜50dB
·输入电压：AC108-250V
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供气系统
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·四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）
·流量范围：一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下
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真空系统
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·搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度）
·搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度）
·KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵
·真空度可达10-2Torr
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备注
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注：采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况）
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