1、电源:110/220V 50Hz/60Hz <1000W
2、输出频率:20KHz-23KHz
3、离子束头:圆头10mm-12mm,矩形头15mm-18mm
4、输入气压:0.275MPa(min)
5、工作气氛:空气、氮气、氩气、混合气体,但不要使用易燃易爆气体
6、等离子工作压力:0.048MPa-0.068MPa
7、工作环境:温度<42℃,湿度≤40%RH
8、工作台:自动控制三维工作台,X、Y轴电动调节,Z轴手动调节
9、真空吸盘:Ø100mm
10、X轴行程:200mm
11、Y轴行程:100mm
12、Z轴行程:50mm
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