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EQ-CGM-2F 两路浮子混气系统

EQ-CGM-2F 两路浮子混气系统

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CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。

功能特点
  • 两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min;
  • 一个机械压力表:0 - 1.0 MPa, (0.02 MPa/grit);
  • 三个用304不锈钢制成的针阀;
  • 三个1/4"的接头(可选用尼龙或者不锈钢);
  • 尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7");
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