● 炉体由4个小管式炉组成，采用氧化铝炉管，尺寸为25 OD x 22 ID x 460 L, mm

● 每个加热模块都由独立的温控系统控制，最高温度可达1700℃

● 快速密封法兰，安装有机械真空压力表，进气端安装有浮子流量计，样品可在真空或气氛保护环境下进行热处理

● 可同时放入4个样品，在不同温度下进行热处理

● 连续工作温度1600°C

● 最高工作温度 1700°C (< 1 hrs)

● 恒温区: 30mm(+/- 1°C )，60mm(+/- 5°C)

● 高纯氧化铝炉管：Φ25X L 460 mm，4根

● 4个浮子流量计

● 快速连接法兰，KF25真空接口

● 真空度：10-5 torr（采用分子泵）

● 有一真空泵接口（KF25）,可在本公司购买各种真空泵

● 采用触摸屏设置温度程序，带有超温和断偶保护

● 4个温区分别由4个独立的温控系统控制

● 4根B型热电偶

● 可用电脑设置和显示温度程序

● 此管式炉可升级为立式淬火炉（加上旋转机构和淬火剂罐）

● CE 认证

● 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证

● 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

● 1000 L x 650 W x 640 H, mm

● 此管式炉，只可在真空或常压状态使用，炉管内的相对气压不可大于0.02MPa

● 进气流量<200 SCCM ( 200ml/min)

● 向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀（可在本公司购买）

● 可选购本公司的供气系统，可用于进行CVD实验